项目名称1 | MOCVD烤盘炉 | 项目编号 | WLU-HW-KS-NM-2024-0545 |
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公示开始日期 | 2024-05-13 17:05:07 | 公示截止日期 | 2024-05-16 18:00:00 |
采购单位 | 西湖大学 | 付款方式 | 内贸部分:货到验收合格后付全款 |
联系人 | 登陆后查看 | 联系电话 | 登陆后查看 |
到货时间要求 | 内贸部分:2024年08月 | 预算总价 | ¥ 490,000 |
收货地址 | 云谷校区 | ||
供应商资质要求 | 符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
; 被授权人社保缴纳证明 (近3个月) (必选) ; 法定代表人资格证明书 (联系人须与法定代表人一致)/投标授权委托书(联系人须与被授权人一致) (必选) ; 原厂授权书/制造商声明函 (必选) |
采购物品 | 采购数量 | 计量单位 | 所属分类 |
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MOCVD烤盘炉 | 1 | 台 |
品牌 | |
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规格型号 | |
预算 | ¥ 490,000 |
技术参数 | 1.设备安装空间应小于3m×3m×2.5m; 2.设备整体包括如下几个模块与子系统: 1)电气控制系统为PLC控制; 2)含冷却水系统; 3)进气系统和气体分配系统耐腐蚀; 4)预留接入尾气系统接口; 5)中高温加热器系统(400~1000℃); 6)气体侦测系统:可配置有害气体环境监控系统; 3.可通氯气 4.性能 1)分区加热;采用缠绕钨丝的方式; 2)适用直径规格:≥280mm的石墨托盘; 3)工作温度区间:400 ~1000℃; 4)工艺气体:N2和Cl2; 5)采用具有热稳定性的材料载片; |
售后服务 | 质保期:1年;商品承诺:质保期后,只收取零配件费,不收取人工费; |
西湖大学
2024-05-13 17:05:07
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