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mocvd烤盘炉(wlu-hw-ks-nm-2024-0407)采购公告

· 2024-04-16
项目名称1 MOCVD烤盘炉 项目编号 WLU-HW-KS-NM-2024-0407
公示开始日期 2024-04-16 11:31:45 公示截止日期 2024-04-19 12:00:00
采购单位 西湖大学 付款方式 内贸部分:货到验收合格后付全款
联系人 登陆后查看 联系电话 登陆后查看
到货时间要求 内贸部分:2024年08月 预算总价 490,000
收货地址 云谷校区
供应商资质要求

符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件

; 原厂授权书/制造商声明函 (必选) ; 被授权人社保缴纳证明 (近3个月) (必选) ; 法定代表人资格证明书 (联系人须与法定代表人一致)/投标授权委托书(联系人须与被授权人一致) (必选)

采购清单 1
采购物品 采购数量 计量单位 所属分类
MOCVD烤盘炉 1
品牌
规格型号
预算 490,000
技术参数 1.设备安装空间应小于3m×3m×2.5m;
2.设备整体包括如下几个模块与子系统:
1)电气控制系统为PLC控制;
2)含冷却水系统;
3)进气系统和气体分配系统耐腐蚀;
4)预留接入尾气系统接口;
5)中高温加热器系统(400~1000℃);
6)气体侦测系统:可配置有害气体环境监控系统;
3.可通氯气
4.性能
1)分区加热;采用缠绕钨丝的方式;
2)适用直径规格:≥280mm的石墨托盘;
3)工作温度区间:400 ~1000℃;
4)工艺气体:N2和Cl2;
5)采用具有热稳定性的材料载片;
售后服务 质保期:1年;商品承诺:质保期后,只收取零配件费,不收取人工费;


西湖大学


2024-04-16 11:31:45

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